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TC WAFER是使用特殊加工工藝將耐高溫傳感器（即TC）鑲嵌于晶圓表面特定位置，從而可實現晶圓表面溫度實時測量的溫度傳感器。 TC（ThermoCouple）為熱電偶的簡稱，Wafer即晶圓。通過TCWafer可獲得晶圓特定位置的真實溫度測量值以及整體晶圓的溫度分布情況；也可用于持續監控在熱處理制程中晶圓瞬態溫度變化，比如：升溫，降溫，恒溫過程及延遲時間等...
碳化硅載盤（也成碳化硅托盤）在半導體行業具有廣泛應用，CVD、RTP/RTA、真空濺射、刻蝕、蒸鍍、氣體沉淀等，比如，在對襯底進行刻蝕時，需通過碳化硅載盤承載半導體襯底。 碳化硅載盤材質成分是純SiC（純度＞99.9%），與石墨基載盤相比，其使用壽命是后者的四倍，且長期使用不變形，穩定性好，能夠耐各種強酸強堿化學試劑腐蝕（比如FH酸、濃H2SO4）。SiC載...