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    無線晶圓溫度測量系統(wl-WTMS)是在晶圓中嵌入了一個完整的測量系統，可以測量并記錄蝕刻工藝環境對真實工藝條件下生產晶圓的影響，無需有線連接。無線晶圓溫度測量系統(wl-WTMS)通過測量與產品工藝接近條件下的溫度數據，可以幫助工藝工程師完成調整蝕刻工藝條件，驗證及匹配腔體、和PM后的驗證等工作。

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    測溫數據顯示

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