晶圓測溫系統-TC Wafer系列-廣東瑞樂半導體科技有限公司

RTD-低溫/高精度-儀表化晶圓電阻溫度探測器(RTD)-最高溫度240 C 儀器化晶圓rtd工作原理是在一定的溫度范圍內,某些金屬的電阻以可重復和可預測的方式增加或減少。與熱電偶晶片相比,RTD的儀器晶片具有更高的精度和更高的穩定性,為監控半導體制造設備提供了額外的選擇。